用简单明了表格讲述各种工业气体用途

青色LED

高纯度氨、 有机金属材料

节能

用于化合物半导体的自行发光装置。与传统的白炽灯相比有耗电量低，寿命长的特点。青红绿三原色通过白色LED应用于家庭用照明，汽车车灯，液晶倒车灯。气体是LED的基板材料。

晶圆片强制冷却

氦

降低成本

在半导体，液晶显示器工艺过程中，用氦气将热处理后的晶圆片，玻璃基板热置换，从而达到强制冷却的效果。可以缩短冷却时间，提高各单位时间，起到降低成本的作用。

准分子激光器近视矫正手术

氩、氟、氦、氖

健康

使用准分子激光器进行近视眼手术。不需用手术刀，手术后恢复较快，安全性高。气体用于准分子激光器的振动。

臭氧脱臭

氧气

改善环境

用臭氧的氧化力，分解有臭成分。被用在食用餐具，上水道，游泳池，水族馆等的水净化上。氧气PSA被用来制造臭氧原料。

臭氧钝化

氧气

提高品质

用臭氧的氧化力，在不锈钢等金属表面上形成氧化钝化膜，在半导体高纯度气体管道内防止粒子产生的管道内部处理技术。使用氧气作为制造臭氧的原料。

臭氧漂白

氧气

改善环境

用代替氯化漂白剂的臭氧可以减少造纸排水中有害成分（有机氯化合物）的产生。由于需要大量的高浓度臭氧，所以要设置制造臭氧的氧气发生器。

汽车空调新冷媒

二氧化碳气体、 新型氟碳

改善环境

替代温暖化系数较高的HFC-134a的代替冷媒。候补的有碳酸气体和新型氟碳，1234yf。现正在讨论将其纳入欧洲温暖化规定中。

气体灭火系统

二氧化碳气体、 氟碳、氮气、氩

安全，环境改善

其灭火方法适用于不能用水的地方。在船舶上使用碳酸气体但是在图书馆等不特定人群进出的地方使用氮气。原本起主要作用的卤素，从保护臭氧层的观点看以氮气为首向惰性气体转变。

气体氮化

氮气、氨

提高品质

为了提高金属部件的耐磨损性，抗疲劳强度，在表面形成氮化膜的技术。

玻璃熔融

氧气

节能，改善环境

玻璃原料熔解时氧气与原料一同吹入，可减少使用燃料，Nox等有害成分排出的技术。用于液晶或PDP基板的玻璃制造上。伴随着基板玻璃的大型化，产量的增加，氧气消费量的扩大，是继电炉之后又一个大型的氧气应用实例。

氙气麻醉

氙气

健康

代替笑气的气体麻醉。麻醉力度，镇痛力度都要比笑气有优势。由于成本较高所以未能普及。05年10月在德国法液空首次得到了市场销售许可。

氙气灯

氙气

降低成本，安全

代替卤素灯，密封有氙气的灯头，被人们用在汽车上，具有较高的亮度，照明时间长的特点。从环境对策考虑投入市场上的灯头是不带水银的。

功能水洗

臭氧、氢、 二氧化碳气体

改善环境，提高品质

在半导体工艺中，传统的RCA清洗被取代。将臭氧，氢气碳酸等气体溶入到水中，能增强氧化，还原的功能。减少硫酸，盐酸等废液处理的负荷，可以有效的控制水的消耗。

下水道硫化氢对策

氧气

改善环境，安全

下水道内产生硫化氢，注入氧气能起到抑制作用。制氧需要小型的PSA。下水道内产生的硫化氢不但会腐蚀水泥，工作人员吸入后严重者会导致呼吸麻痹而死亡。由于硫化氢会在嫌气性氛围下生成，所以输送氧气，可保持良好的需气性。

低温粉碎

液氮

提高品质

利用液氮的-196℃的极低温，将物质粉碎成极小的技术。是古典的气体用途之一，特别是称为工程塑料的功能性树脂原料合成上被广泛利用。

固定式燃烧电池

氢气

节能

从09年4月家庭用燃料电池废热发电开始商业化。对传统燃料的天然气，LP气，煤油进行改质，生产氢气，进行发电和热供应（热水）。现在虽然是以改质型为中心生产产品但是如果氢气基础设施健全的话可以直接用氢气供应。

电力机器绝缘

SF6

改善环境

作为高压电力开关的绝缘材料SF6（六氟化硫黄），从温暖化对策出发对该气体进行回收。还没有能够代替不燃烧，无毒性的SF6气体，在设备溢流时回收气体。

气密性试验

氦、氢

安全、提高品质

运用气密性试验可查知气体泄漏，提高产品品质，伴随人们对安全的追求而有所增加。通常使用氦气，但也有为了降低成本而使用氢和氮的混合气来进行气密试验。