特种气体是指在特定领域中应用的工业气体

特种气体是指在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。它们在电子、化工、医疗、环保等多个领域有着广泛的应用。

特种气体的种类

特种气体种类繁多，可以根据不同的标准进行分类。按照气体的化学成分，可以分为硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物等七类。具体包括的气体有甲烷、乙烯、正戊烷、正丁烯、正丁烷、异戊烷、异丁烯、异丁烷、乙烷、一氧化碳、一氧化氮、一甲胺、一氟甲等。据不完全统计，现有单元特种气体达260种左右，其中电子气体114种（实际常用的约44种），有机气体65种，无机气体35种，卤碳素气体29种，同位素气体17种。

特种气体的应用

特种气体在多个行业中扮演着重要角色：

1. 电子行业：约占特种气体应用的41%，特种气体在芯片制造的硅片制备、硅片制造、硅片测试/拣选、装配与封测、最终测试等环节中都有所涉及。例如，化学气相沉淀（CVD）工艺中常用的特种气体有高纯氮、硅烷等；氟基气体如四氟化碳、六氟乙烷等则用于刻蚀工艺。

2. 化工行业：特种气体在化工生产中用于特定的化学反应。

3. 医疗行业：特种气体在医疗领域用于特定的治疗和诊断过程。

4. 环保行业：特种气体在环境监测和污染控制中发挥作用。

5. 其他领域：包括电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、食品保鲜等。

特种气体因其在高科技应用领域中的重要性，被誉为电子工业的“血液”。随着技术的发展和应用领域的拓展，特种气体的需求和市场规模持续增长。

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