三氟化氯的规格和运输方式及其应用

描述
三氟化氯(ClF3)是一种腐蚀性，无色有甜味的气体，即使在低浓度时也有高度刺激性。它是强氧化性，在高温时能够点燃许多有机化合物和许多金属。遇水产生猛烈反应，在其自身压力下，被作为液化性气体运输。
规格
纯度，%	99.9
氧气	≤20 ppmv
氮气	≤50 ppmv
硫化氢	≤700 ppmv
运输
DOT 运输名称	三氟化氯
DOT 分类	2.3
DOT 标签	毒气，氧化剂及腐蚀性
UN NO.	UN 1045
CAS NO.	7664-41-7
CGA/DISS	670/728
运输状态	液化性气体
技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C	液体
在空气中的燃烧极限	不可燃
自燃温度 ( °C )	-
分子量 ( g/mol )	66.007
比重 ( 空气 =1 )	3.14
临界温度 ( °C )	23.85
临界压力 ( psig )	823.2
应用
-在半导体工业中，三氟化氯用于清洗化学气相沉积腔室。它的优势是可以用于从室壁去除半导体材料，而不必拆卸腔室。不像大部分替代品，它不需要使用等离子体的激活，腔室的热量足以使其分解并与半导体材料反应；

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